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市场需求开发的一种不会进入气泡的高精度真空贴膜机。 在凹凸不平的材料上贴合薄膜时防止气泡、垃圾进入。通过在真空中进行贴膜可以消除污染的优点。 真空贴膜机在真空中，对薄膜的张力控制、温度分布、贴合精度具有精密的控制。 在真空中同时为RTR，是适合生产的装置。使用不同方法，例如通过将腔室内进行氮气置换，也可以用于适合厌氧烟雾的有机EL的贴膜等。