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化学品供应系统:为半导体生产线24小时不问断供应化学品的系统。供应系统供应的化学品一般使用量较大或有多台工艺
设备使用，属于远距高持续性输送，不适用使用量较小或足使用前存放时间有限制的化学品(通常需用特殊的包装输送到用点)。这些化学品一般输送到湿法刻蚀、清洗等区域。